• 已选条件：
  • × 6th International Conference on Electronic Devices, Systems and Applications 201
  • × Low surface roughness
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1 Fabrication of MEMS cantilever using laser micromachine [会议论文]

作者:Johari, S.^1;Zainol, M.Z.^1;Azman, A.A.^1;等

关键词:Conventional lithography;Fabrication process;...

会议举办机构:School of Microelectronic Engineering, Universiti Malaysia Perlis, Malaysia^1

会议时间:2018

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